روش ریز استخراج با فاز جامد در اوایل دهه ۹۰ میلادی توسط Janusz Pawliszyn در دانشگاه Waterloo کانادا ابداع گردید.

این روش ها شامل استخراج با سیال فوق بحرانی، استخراج با مایع تحت فشار، استخراج با آب داغ تحت فشار، استخراج به کمک امواج مایکروویو، استخراج با حلال به کمک غشا، ریز استخراج با فاز جامد و استخراج با لوله جاذب متحرک می باشد. این تکنیک ها با بسیاری از نیازهای امروزی مانند ملاحظات زیست محیطی، سرعت و قابلیت اتوماسیون مطابقت دارند.